AACHEN (Dow Jones)--Der Technologiekonzern Aixtron hat einen Auftrag für eine Anlage zur Atomlagenbescheidung (atomic layer deposition - ALD) aus Südkorea erhalten. Die QXP 8300 ALD-Anlage werde an einen ungenannten großen koreanischen DRAM-Hersteller geliefert, wie der TecDAX-Konzern am Dienstag mitteilte. Sie werde vom Kunden bis zum Ende des zweiten Quartals in Betrieb genommen.

Die ALD-Technologie ist ein Verfahren zur Herstellung hauchdünner Schichten für Halbleiter-Bauelemente, die zunehmend die CVD-Technologie ablöst. Die Bestellung aus Korea sei für Aixtron vor allem deshalb sehr interessant, weil erstmals seit Jahren wieder im Bereich der Speicherchipproduktion investiert werde, sagte ein Unternehmenssprecher auf Anfrage.

Der Auftragswert selbst sei bei einer einzelnen Maschine sehr gering. Sollte die 8300 ALD-Anlage die Auftraggeber aber überzeugen, erhofft sich das Unternehmen aus Herzogenrath bei Aachen in den nächsten ein bis anderthalb Jahren Folgeaufträge zu Zuge des Porduktionsaufbaus für Speicherchips der nächsten Generation.

Webseite: www.aixtron.de DJG/sha/brb Besuchen Sie auch unsere Webseite http://www.dowjones.de

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