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19.04.1996

EU-Chips messen 0,25 Mikrometer

MUENCHEN (CW) - Heraeus Quarzglas und Carl Zeiss koennen einen Erfolg fuer die europaeische Halbleiterindustrie verbuchen. Die beiden Firmen haben im Rahmen des EU-Projekts Jessi Glaslinsen konstruiert, mit denen sich Halbleiterstrukturen mit einer Groesse von 0,25 Mikrometern belichten lassen. Die englische Firma ASM Lithography wird diese Linsen fuer die Chipproduktion einsetzen.