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30.11.1990 - 

Forschen an künftigen Halbleitergenerationen

Fraunhofer-Chip-Institut in Itzehoe kostet dem Steuerzahler 400 Millionen Mark

BONN (CW) - Der Bundesminister für Forschung und Technologie (BMFT) gab bekannt, daß der Bau des Fraunhofer Institutes für Siliziumtechnologie (Isit) in Itzehoe in Angriff genommen wird. Die Finanzierung der notwendigen 400 Millionen Mark übernehmen das Haus Riesenhuber und das Land Schleswig-Holstein zu gleichen Teilen.

Aufgabe des in das Eureka-Projekt Jessi eingebunden Institutes ist nach Darstellung des BMFT die Entwicklung neuer Herstellungsverfahren für höchstintegrierte Schaltkreise auf der Basis von Silizium. Das Vordringen zu noch kleineren Strukturen - ein 4-Mbit-Speicher-Chip weist mit 0,7 Mikrometern Strukturen auf, die in der Größenordnung der Wellenlänge sichtbaren Lichts liegen mache es notwendig, neue Lithographiemethoden zu erarbeiten. Für kommende Chip-Generationen setzen die Forscher deshalb bei der Belichtung beispielsweise auf Röntgenstrahlen.

Das Institutskonzept ist von der Fraunhofer-Gesellschaft und der Industrie gemeinsam erarbeitet worden, um einen schnellen Transfer der erzielten Forschungsergebnisse in die Anwendung zu sichern. Auch die Umsetzung der Arbeiten soll in enger Abstimmung mit den finanziell beteiligten Partnern aus der Industrie erfolgen. Es ist geplant, daß etwa ein Drittel der Betriebskosten durch Industrieaufträge finanziert werden. Das Institut in Itzehoe, in dem bis zu 400 Mitarbeiter beschäftigt sein werden, soll im Jahr 1993 seinen Betrieb aufnehmen. Isit soll nach Auffassung der Beteiligten helfen, langfristig eine wettbewerbsfähige Technologiebasis in Europa zu sichern.