Melden Sie sich hier an, um auf Kommentare und die Whitepaper-Datenbank zugreifen zu können.

Kein Log-In? Dann jetzt kostenlos registrieren.

Falls Sie Ihr Passwort vergessen haben, können Sie es hier per E-Mail anfordern.

Der Zugang zur Reseller Only!-Community ist registrierten Fachhändlern, Systemhäusern und Dienstleistern vorbehalten.

Registrieren Sie sich hier, um Zugang zu diesem Bereich zu beantragen. Die Freigabe Ihres Zugangs erfolgt nach Prüfung Ihrer Anmeldung durch die Redaktion.

27.02.1981 - 

Herstellung von LSI- und VLSI-Bausteinen:

Lithographie auf Silizium

BONN (pi) - Für ein Gerät das integrierte Schaltungen entwirft, wirbt die Britische Botschaft mit der folgenden Veröffentlichung.

Der EBMF-6 (Electron Beam Microfabricator) der britischen Cambridge Instruments entwirft auf einem Siliziumsubstrat Schaltkreise für LSI- und VLSI-Bausteine. Die Ausrüstung bestehe aus drei Hauptgruppen: dem Präzisionsobjekttisch mit elektronenoptischer Säule, dem Schaltpult mit Bildschirm und Tastatur und dem Computer mit Peripheriegeräten und Software-Bibliothek.

Als Strahlenquelle diene ein glühender Wolframfaden oder eine indirekt beheizte LaB(6)-Kathode, deren Elektronen von einer Trioden-Elektronenschleuder beschleunigt werden. Zu den wichtigsten Merkmalen gehört die automatische Eichung des Ablenksystems, dessen Auflösungsvermögen zwischen 12 und 15 Bits einstellbar sei. Dadurch ergebe sich eine hohe Herstellungsgeschwindigkeit gröberer Strukturen, während ein hohes Auflösungsvermögen für eine feinlinige Lithographie bewahrt bleibe.

Die Taktfrequenz des Systems kann eingestellt werden, um Dosierungsauswirkungen zu kompensieren (Näherungskorrektur) , erklärt die Botschaft. Ein Substrat von 105 mm x 105 mm Größe läßt sich auf dem X-Y-Objekttisch innerhalb der Vakuumkammer computergesteuert oder manuell bearbeiten. Sowohl die Hauptvakuumkammer als auch die Schleuse werden mit einer Toleranz von ± 0, l° C temperaturgeregelt.

Die Standard-Vakuumschleuse hat eine Aufnahmekapazität für zwei Einspannvorrichtungen, so daß ein anstehendes Werkstück temperaturstabilisiert werden kann, während ein anderes bearbeitet wird.