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05.02.1999

Nanometer-Technik für den Chip der Zukunft

MÜNCHEN (CW) - Wissenschaftler der Universität Chikago haben ein Schreibgerät entwickelt, das Leiterbahnen auf Siliziumwafern ziehen könnte, die nur 15 Nanometer (ein Nanometer = ein Millionstel Meter) breit sind.

Heute liegt die dünnste mögliche Struktur, die man auf einen Chip aufbringen kann, bei 180 Nanometern. Ein menschliches Haar ist 10000 Nanometer dick. Laut Chad Mirkin, Chemieprofessor an der Northwestern University in Chikago, funktioniert die neue Technik im Prinzip wie der seit dem Altertum bekannte Federkiel mit Tinte. Ein extrem feiner Stift aus Siliziumnitrid überträgt eine Spezialtinte bei Berührung auf ein Trägermaterial, im Experiment ein goldbeschichteter Siliziumchip. Kapillarkräfte halten die Tinte im Stift, wenn er von der Schreibfläche abhebt.

Die Forscher spielen mit dem Gedanken, statt der Tinte ein elektrisch leitfähiges Material wie Kupfer oder Silber in dem Stift unterzubringen. Damit könnte man Leiterbahnen auf Chips "schreiben", die bis zu tausendmal kleiner wären als die aktuellen Siliziumscheiben. Mirkin zufolge brächte man mit dem neuen Schreiber bis zu einer Million Leiterbahnen auf einem Zoll (2,54 Zentimeter) unter.