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NTT auf dem Weg zum 100-Megabit-Chip

17.02.1989

TOKIO (IDG) - Die Nippon Telegraph & Telephone Corp. (NTT) hat eine neuartige Technik zur Herstellung von Schaltkreisen vorgestellt. Damit will das Unternehmen 0,2 Mikron-Leiterbahnen herstellen, die für die Herstellung eines 100-Megabit-Chips nötig sind. Die NTT-Techniker benutzen dazu einen ovalen supraleitenden Elektromagnetring mit einer Länge von etwa acht Metern. Mit Hilfe eines Linearbeschleunigers gelang es, die Synchrotronstrahlung (SOR) aus dem Magnetfeld herauszufiltern. Diese feinen SOR-Strahlen dienen dann zur Belichtung der extrem feinen 0,2 Mikron-Leiterbahnen. Bisher wurde dazu in erster Linie Photolitographie eingesetzt, die eine Leiterbahnenbreite von 1 Mikron erlaubt.