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17.03.1995

Partnerschaft ueber den Atlantik hinweg gegen die japanische Dominanz Die Ionen-Lithografie soll den Weg zum 1-Gigabit-Chip oeffnen

MUENCHEN (CW) - 17 europaeische und amerikanische Chiphersteller haben sich zur "Advanced Lithography Group" zusammengeschlossen. Sie wollen Fertigungsmaschinen konstruieren, mit denen sich elektronische Schaltungen wesentlich dichter auf Siliziumscheiben packen lassen als das heute moeglich ist.

"Japanische Unternehmen dominieren den Markt fuer die lithografischen Maschinen zur Chipherstellung. Wenn unsere Technik einsatzbereit ist, koennen wir diese Vormachtstellung brechen, sagte Walter Finkelstein, President der Advanced Lithography Group gegenueber dem "Wall Street Journal". Seinem Interessenverband haben sich inzwischen so illustre Unternehmen wie Texas Instruments Inc., National Semiconductors Inc., Siemens AG, SGS Microelectronics und Jenoptik GmbH angeschlossen.

Die Chip-Hersteller muessen ein neues Verfahren finden

Der Schulterschluss der Unternehmen ist sicher eine Folge aeusserer Zwaenge: Die heute verwendete Licht-Lithografie ist an ihre pysikalische Grenze gestossen - die Leitungen auf einem Baustein lassen sich damit nur bis auf 0,35 Mikrometer verkleinern. Wenn die schon heute vollmundig angekuendigten 1-Gigabit-Speicherchips zum Massenprodukt werden sollen, muss ein Schlupfloch in der Physik oder eine ganz neue Technik gefunden werden. Die Transistoren des 1-Gigabit-Chip beispielsweise duerfen ganze 0,18 Mikrometer gross sein.

Die Ionen-Lithografie ist ein Versuch, derartig feine Strukturen auf die Silizium-Scheiben zu aetzen. Statt Licht werden dabei Wasserstoff- oder Helium-Ionen verwendet. Weltweit fuehrend in der Entwicklung dieser Technik ist die oesterreichische Firma Ionen Mikrofabrikations Systeme GmbH (IMS) in Wien - eines der wenigen Unternehmen ausserhalb der USA, die Forschungsgelder vom US- Verteidigungsministerium erhalten hat.

Selbst der japanische Chiphersteller Sumitomo Metal Industries Ltd. hatte sich bis 1991 an IMS beteiligt. IMS-Firmenchef Max Bayerl suchte damals andere finanzkraeftige Partner und hofft inzwischen auch auf Hilfe von der EU: Nachdem Oesterreich Mitglied im europaeischen Staatenbund geworden ist, koennten groessere Summen aus dem 22 Milliarden schweren Fuenf-Jahres-Programm fuer Technikfoerderung an seine Firma fliessen.

Bayerl darf sich bei der weltweiten harten Konkurrenz auf diesem Markt keine Schwaechen erlauben: Hitachi, Fujitsu, Mitsubishi und NEC haben Millionenbetraege in die Lithografie-Forschung investiert. Sie und die zwei amerikanischen Unternehmen IBM und Motorola versuchen sich an der Roentgenlithografie, die heute wie die Ionenlithografie noch in den Kinderschuhen steckt.

Die Technik, die zuerst fuer die Grossserienfertigung geeignet ist, kann mit satten Gewinnen rechnen: Schon heute werden weltweit eine Milliarde Dollar mit Chip-Fertigungsmaschinen umgesetzt.