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01.06.1979

Siliziumplättchen im Trockenverfahren

PHOENIX (bi) - Siliziumplättchen können künftig im Trockenverfahren hergestellt werden. Die Halbleitergruppe Motorola Inc., Phoenix, erzielte jetzt einen technologischen "Durchbruch", der - so die Selbstdarstellung - für die Halbleiter-Produktion von großer Bedeutung sein dürfte. Während des Herstellungsprozesses "Plasma Developable Photoresistent" kann fast vollständig auf Umweltkontrollen verzichtet werden. Auch der Gebrauch von entionisiertem Wasser, von Säuren und petrochemischen Lösungsmitteln entfällt.