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Leitz setzt Stanford-Forschung in die Praxis um:

Ultraschallmikroskop prüft Halbleiter

15.03.1985

WETZLAR (CW) - Fehler in hochintegrierten Schaltkreisen lassen sich mit Hilfe eines neuen Ultraschallmikroskops aufspüren.

Daneben findet sich noch eine ganze Reihe weiterer Anwendungsmöglichkeiten in der ingenieurs- und naturwissenschaftlichen Praxis für das Ultraschallmikroskop ELSAM der Ernst Leitz Wetzlar GmbH.

Mit der Entwicklung von ELSAM ist es Leitz zufolge gelungen, die Erfindung eines Stanford-University-Wissenschaftlers in ein technisch reifes Ergebnis umzusetzen. Denn im Gegensatz zu konventionellen Mikroskopen, die mit Licht oder Elektronen arbeiten, ist es unter Einsatz von Ultraschallmikroskopen erstmals möglich, Oberflächenschichten auch trüber Materialien in der Tiefe bis zu einigen Tausendstel Millimeter zu untersuchen.

Eine noch genauere IC-Inspektion ist damit in greifbarer Nähe gerückt. Bei Leitz in Wetzlar erwartet man sich viel von dem neuen Ultraschallmikroskop, und man erhofft sich bei diesem Einsatz (voraussichtlich im Frühjahr 1985) bedeutende Arbeits- und Anwendungsgebiete für die Praxis.

Neben dem Einsatz innerhalb industrieller Qualitäts- und Fertigungskontrollen verschiedenster Produktbereiche werden auch zukunftsweisende Impulse für Problemlösungen bei der Grundlagen- und angewandten Forschung in wissenschaftlichen Institutionen und in Industrieunternehmen erwartet. Das Wetzlarer Feinoptik-Unternehmen wurde für diese Leistung mit dem Innovationspreis des Wirtschaftsclubs Rhein-Main e.V. bedacht.

Informationen: Ernst Leitz Wetzlar GmbH Postfach, 6330 Wetzlar, Telefon: 0 64 41/29 22 01.