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15.04.1983

Wafertest auch unter dem Gefrierpunkt

GERMERING (pi) - Das Waftherm SP43A mit dem 4-Zoll Thermo-Auflagetisch Typ zum Testen von Waferscheiben im Temperaturbereich von minus zehn bis plus 140 Grad Celsius.

Das Waftherm ermöglicht die definierte Temperaturübertragung auf den Wafer mittels der im Auflagetisch versehenen Thermoeinrichtung. Als Temperaturgeber für den Thermoauflagentisch wurden Peltier-Elemente eingesetzt, die sich sowohl zum Heizen, wie zum Kühlen eignen.

Auf den Anteil der Reproduzierbarkeit wurde beim Waftherm SP43A laut Anbieter ein großes Augenmerk gelegt. Die Temperatureinstellung erfolgt digital in ein-Grad-Schritten.

Die vorgewählte Temperatur wird direkt an der Thermoplatte von Peltier-Elementen erzeugt und geregelt, wobei die Temperaturstabilität bei 0,1 Grad Celsius liegt.

Informationen: ers Elektronik GmbH, Industriestraße 6, 8034 Germering, Tel.: 089/8 41 90 05