MÜNCHEN: Auf der Lithografie-Technologie sollen die Chips des nächsten Jahrhunderts beruhen. In diese Technik (Extreme Ultraviolett-Lithografie, EUV) wollen Intel, AMD und Motorola laut Herstellerangaben in den nächsten drei Jahren zirka 250 Millionen Dollar investieren.Bei EUV wird die Eigenschaft ultrakurzer UV-Wellenlängen genützt, um winzige elektronische Schaltungen zu realisieren. Damit soll die Herstellung von Strukturen in Größenordnungen unter 0,1 Mikrometer erreicht wird. Zum Vergleich: Mikroprozessoren wie Pentium, K6 oder PowerPC entstehen in 0,35- beziehungsweise allenfalls 0,25-Mikrometer-Technologie mit optischen Lithografie-Methoden. Mit EUV könnten, so die Überzeugung von Fachleuten, Mikroprozessoren mit einer Milliarde Transistoren - gegenüber beispielsweise 8,8 Millionen des AMD K6 - bei Taktraten von 10 GHz gebaut werden. Damit wäre der Chip in der Lage, zirka 100.000 Millionen Instruktionen pro Sekunde zu verarbeiten.
Realisiert werden soll die Entwicklung der Chips in den drei Laboratorien des U.S. Department of Energy (Lawrence Livermoore National, Sandia National und E. O. Lawrence Berkeley National). Seit September 1996 hatte die amerikanische Regierung die Alementierung der Chipforschung mit stattlichen Geldern eingestellt. (wl)