Bei der Miniaturisierung von Bauteilen blieb dem Mikrofon bisher nur die Rolle des Aschenputtels. Kleiner als eine Knopfbatterie konnte ein Schalldetektor bis dato nicht werden. Das hat sich nun geändert: Dänischen Forschern ist es gelungen, ein Mikrofon auf die Größe eines Zitronenkerns zu reduzieren. Hierzu ätzten Mitarbeiter des Unternehmens Sonion einen winzigen Teil der Oberfläche eines Siliziumwafers auf die Dicke von lediglich 500 nm herunter. Diese dünne Schicht wirkt nun wie eine Membran, nach Eintreffen von Schallwellen vibriert sie und gibt die Schwingungen als elektrische Signale an die nach geschaltete Elektronik weiter. An einer ähnlichen Technologie arbeitet auch Infineon. Nun ist aber Sonion der Siemens-Tochter zuvor gekommen und will bereits nächstes Jahr mit der Serienfertigung dieser Mikrofone auf dem Chip beginnen. (rw)
18.04.2002
Bei der Miniaturisierung von Bauteilen blieb dem Mikrofon bisher nur die Rolle des Aschenputtels. Kleiner als eine Knopfbatterie konnte ein Schalldetektor bis dato nicht werden. Das hat sich nun geändert: Dänischen Forschern ist es gelungen, ein Mikrofon auf die Größe eines Zitronenkerns zu reduzieren. Hierzu ätzten Mitarbeiter des Unternehmens Sonion einen winzigen Teil der Oberfläche eines Siliziumwafers auf die Dicke von lediglich 500 nm herunter. Diese dünne Schicht wirkt nun wie eine Membran, nach Eintreffen von Schallwellen vibriert sie und gibt die Schwingungen als elektrische Signale an die nach geschaltete Elektronik weiter. An einer ähnlichen Technologie arbeitet auch Infineon. Nun ist aber Sonion der Siemens-Tochter zuvor gekommen und will bereits nächstes Jahr mit der Serienfertigung dieser Mikrofone auf dem Chip beginnen. (rw)